技术编号：15574693
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种测定相移掩模的相移量的相移量测定装置，尤其是涉及一种构造简单且温度稳定性优异的相移量测定装置。背景技术现有的相移量测定装置在透明基板上形成移相器层的前后，使用马赫曾德耳干涉仪测定其透明基板的同一部位的透射光的相位差，在透明基板上形成移相器层的期间，在载置透明基板的干涉仪的样品台上替代载置虚拟透明基板，检测出透射其间的虚拟透明基板的光的相位变动，在测定透射透明基板上形成了移相器层之后的透明基板的光的相位时，通过干涉仪的一个光路的光路长度修正单元进行光路长度修正来抵消其相位变动量(例如...
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