技术编号:15648522
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种过滤装置,特别涉及一种石英坩埚生产用原料过滤装置,属于过滤装置技术领域。背景技术石英坩埚,具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点,应用越来越广泛,石英坩埚的检测工作是一个十分重要的环节,而且石英坩埚的检测朝向现场检测方向发展,石英坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种,用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料,当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚,他具有高纯度、耐温性强、尺...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。