技术编号：15675912
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及工艺装备，具体来说涉及一种高温高真空环境下的多工位自动对心装置。背景技术在三工位阴极转移系统中，工件为一种椭球形玻璃壳简称玻壳，设备真空腔体为钟罩式结构，可升降，钟罩腔体上设置多个观察口，三个玻壳可以同时围绕钟罩腔体中心轴旋转，三个椭球玻壳可以同时在工序一工位和工序二工位上转移切换。机架底部设置三个工序一工位腔室和三个工序二工位腔室，各腔室圆周分布，钟罩腔体和底板之间采用氟胶圈密封。设备由腔体、冷却系统、真空系统、加热系统、工件旋转定位机构、控制系统等部分组成。此设备中非常重要的一步工...
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