技术编号:15703079
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体/液晶面板制造领域,涉及一种用于在无尘室内清洁卡匣仓储搬运设备的自动清洁机。背景技术随着液晶显示技术的不断发展,液晶屏已经成为人们日常生活中较为常见的显示屏。液晶面板是液晶屏的重要组成部分。在液晶面板制造行业中,玻璃面板存储在各个仓储柜中,需要采用搬运设备可对每个仓储柜中的卡匣进行搬运。在半导体制造工厂中,半导体晶圆由于需经过各种不同流程的处理且需配合工艺设备,因此会被搬运到不同的工作站。为了方便晶圆的搬运且避免受到外力碰撞,会将多个晶圆收纳于晶圆暂存卡匣中。当将存放晶圆的晶圆暂...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。