技术编号:15703488
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种线材的卷绕加工,具体来说,涉及一种微型弹簧的加工。背景技术近年来,随着微机电系统(MEMS:Micro-Electro-MechanicalSystems)技术的不断发展和成熟,使得微电子设备和微传感器等微型系统应用范围不断扩大,已广泛应用于民用、医学、军事等领域。基于微加工工艺的针型微电极的研究得到了迅速发展。微电极结构主要有平面微电极和异平面微电极以及将平面微电极组装成阵列形状的微电极,这些不同结构的微电极都具有各自的特点。传统的电极虽然具有多种不同的形态,但是,其电极针均为单...
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