技术编号:15711782
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种多晶硅的生产设备,具体涉及一种多晶硅还原炉。背景技术随着科技的发展,太阳能光伏产业和半导体工业的发展也越来越迅猛,因此对于太阳能光伏产业和半导体工业生产用的主要原料多晶硅的需求也越来越大。目前,业界生产多晶硅的方法有多种,其中比较常见的是氢还原法,也称西门子法,目前应用的比较广泛的为改良西门子法,改良的西门子法较传统的西门子方法具备先进的节能低耗工艺,并且可以有效的回收利用生产过程中大量的SiCl4、HCl、H2等副产物以及大量的副产热能。改良西门子法与传统西门子法的原理类似,主要...
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