技术编号:15733946
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于通过向试样照射X射线而进行分析的X射线分析装置。背景技术X射线分析装置例如具备用于向试样照射X射线的X射线源与对在试样上衍射的X射线进行检测的检测器。在这种X射线分析装置中,使X射线源以及检测器在以试样为中心的基准圆(所谓的衍射仪圆)上相对移动,从而进行分析。(例如参照下述专利文献1)。在专利文献1中记载的X射线分析装置中,试样以规定的角速度旋转(所谓的θ旋转),由此X射线相对于试样表面的入射角发生变化。此时,检测器以θ旋转的两倍的角速度旋转(所谓的2θ旋转)。由此,在X射线相对于...
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