技术编号:15773472
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其涉及一种全自动真空镀膜装置。背景技术真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD 激光溅射沉积等很多种,现有真空镀膜通过人工操作,因此在工作的过程中,还需人工进行操控,增加了劳动强度,而且人工操作比较繁琐,影响了生产效率。实用新型内容本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的人工操作比较繁琐的缺点,而提出的一种全自动真空镀膜装置。为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:设计一种...
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