技术编号:15788751
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及离子源辅助器件技术领域,更具体的是涉及一种霍尔离子源能量辅助用导磁结构。背景技术霍尔离子源的工作原理是阴极灯丝通电后发热发光,产生热电子,热电子在阳极正电压的拉动下向阳极运动,在运动过程中遇到磁场,在磁场的洛伦兹力作用下,电子作螺旋式运动,运动过程中与导气铁芯中出来的O2或Ar分子进行碰撞产生O+或Ar+离子,O+或Ar+离子在阳极正电压的排斥推动下往上方移动,这些正离子在通过阴极灯丝边上时又遇到热电子,结果正离子被中和,但依旧保留了原先的动能继续往上方运动,一直到达离子源上方工件...
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