技术编号：15788783
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体芯片制造技术领域，尤其是一种GPP工艺光刻夹具板。背景技术GPP工艺光刻工序是GPP工艺中必不可少的一道工序，过程控制和质量好坏对DPP工艺产品质量、成本控制起着至关重要的作用。改进操作方法和工装夹具，提高该工序质量合格率和工作效率，为该产品在市场竞争中提供基础保障，是每个GPP工艺产品生产单位都乐意为之的事情。电路生产专用光刻机吸片盘是固定在光刻机上的，吸片和吸版共用同一管路中的真空吸力，硅片凹凸不平整（GPP工艺的硅片均有此特性）的情况下容易造成硅片与光刻版之间间隙不均匀...
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