技术编号：15827659
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及曝光机技术领域，尤其涉及一种扫描式UVLED曝光机。背景技术传统曝光机采用的是平行光幅面照射方法，即灯源和曝光框架在曝光的时候是静止的。所以传统曝光机必须配置复杂的光学系统如复眼、大面积球面主镜等，尤其是决定曝光面积的球面镜，随着曝光面积的增大，球面镜的成本往往成几何级数的增加。而且因为曝光面积大导致单位面积的曝光强度受到限制，后续的曝光均匀性调整难度大，光偏角相对较大，不适用于接近式曝光。扫描式曝光机是利用一维阵列UVLED光源，在与阵列正交方向上进行扫描，将菲林上的图形转移到基片上...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。