技术编号：15830067
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种表面微结构阵列的加工方法，属于表面微结构超精密加工领域。背景技术表面微结构是指具有某种特定形状且达到微米甚至纳米尺寸量级的基本结构单元，其具有许多新的物理和化学特性，例如可以加强工件表面抗腐蚀性和耐磨性，实现超疏水性或超亲水性，起到减阻降噪的效果等，在光学、机械电子、生物医学和军工等领域具有重要的应用价值。目前，表面微结构的制造方法有两种：一种是材料堆积法，在原始表面通过自身生长、变化反应的方式形成新结构，如气相沉淀法是利用热蒸汽获得沉积材料的气体分子、原子或离子，具有原料转化率高...
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