技术编号：15885074
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及层结构半导体器件及其制造方法。背景技术电力电子晶体管广泛用于各种邻域，例如移动电话网络，太阳能发电厂和电动汽车，用于改变电输出波形，例如，从DC(直流)到AC(交流)或从一个电压水平到另一个电压水平。这些晶体管需要在很宽的功率范围内工作，从移动手机的毫瓦量级到高压电力传输系统的数百兆瓦；有时需要工作在不同的频率，覆盖从无线电波到微波和毫米波。尽管在Si，SiC，砷化物和III族氮化物(GaN，AlN，InGaN，AlGaN等)晶体管的制造取得了进展，但这些器件各有优点和缺点。特别是现有...
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