技术编号：15908070
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种集成电路装备制造领域,尤其涉及一种曝光装置。背景技术平板显示技术发展较快，尺寸越来越大。如果使用较大视场的物镜进行曝光能够有效地提升产率。然而随着物镜光学系统视场的增大，设计及加工制造等各方面的难度都会增加。使用相同的视场大小适中的物镜采用一定排列方式将多个视场拼接成所需的大视场，根据所需视场大小来选择拼接的个数。这样既实现了大视场要求又降低了光学加工制造难度同时具有很高的兼容性和灵活性。由于使用了多个子物镜进行拼接，每个子物镜由于自身的性能及装配公差等成像位置会与理论位置有偏差。...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。