技术编号：15951239
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及通过溅射法层叠经受结晶化热处理的膜而形成的层叠的氧化物材料，且该层叠的氧化物材料被用于制造半导体器件。例如，提供了适于被用作晶体管、二极管等中所包含的半导体的材料。此外，本发明涉及包含用诸如晶体管之类的半导体元件制成的电路的半导体器件，以及制造该半导体器件的方法。例如，本发明涉及被安装在电源电路上的电源器件；包含存储器、半导体闸流管、转换器、图像传感器等的半导体集成电路；以及在其上安装了电光器件(以包含有机发光元件的液晶显示面板或发光显示设备为代表)作为其组件的电子器具。在此说...
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