技术编号：15978694
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于高分辨率成像系统像差检测技术领域，尤其涉及一种全视场高数值孔径成像系统偏振像差在线检测方法。背景技术目前超大数值孔径成像技术广泛应用于显微镜、望远镜及制备超大规模集成电路的浸没式光刻机中。随着制备工艺已走向22nm及以下节点，光刻机的数值孔径值大多都在1.35及以上，照明光源也为离轴偏振照明，并且在光刻仿真领域也已出现SMPO等对光源偏振态优化的算法。可见目前的工艺、技术及优化算法对偏振像差的测量精度和速度有了更高的要求，光刻机等大型超高数值孔径成像系统在装配及使用等过程产生的线上偏振...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。