技术编号：15988282
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于晶圆捡选机技术领域，具体涉及一种便于检修的独立式晶圆捡选机。背景技术晶圆便是硅元素加以纯化（99.999%），接着是将这些纯硅制成硅晶棒，成为制造集成电路的石英半导体的材料，经过照相制版，研磨，抛光，切片等程序，将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的不同尺寸的晶圆，如8英寸晶圆、12英寸晶圆等，晶圆捡选机是将随机的、不同尺寸的晶圆，按其要求进行分类（按产品类别或产品目的地不同分）的一种物料搬运设备。现有的晶圆捡选机在使用过程中，晶圆在捡选出口容易被碰伤，导致晶圆损坏，并浪...
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