技术编号:16064689
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体集成电路制造中光刻工艺的优化调度方法,属于生产车间智能优化调度技术领域。背景技术集成电路(Integrated Circuit,IC)是一种微型电子器件或部件,即把一定数量的常用电子元件通过半导体工艺集成在一起的具有特定功能的电路,是现代信息技术所有核心知识产权竞争力的载体。用集成电路来装配电子设备,其装配密度比晶体管可提高几十倍至几千倍,设备的稳定工作时间也极大提高。在集成电路的制造应用中,半导体集成电路(Semiconductor Integrated Circuit,S...
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