技术编号:16070464
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及蒸镀技术领域,尤其涉及一种蒸镀坩埚、蒸镀源以及蒸镀方法。背景技术OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)显示面板中,有机功能层采用真空热蒸镀的方式制作,即将有机材料放在坩埚中,然后在真空环境中加热坩埚,使其中的有机材料气化并向上喷射出,从而沉积在上方温度低的基板上,即可在基板上形成纳米量级厚度的有机功能层。目前的蒸镀坩埚比热容固定,当加入不同的蒸镀材料时,坩埚与蒸镀材料整体的热容不同,因此这个整体加热后的升温曲线不同,为了获得相同的升温和稳定...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。