技术编号：16318852
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种曝光机技术领域，特别涉及一种曝光机的照明机构以及曝光方法。背景技术随着显示面板的迅速发展，在制作显示面板的工艺上也在不断改进和创新，其中制作显示面板通常需要进行阵列基板制程和彩色滤光片制程，而进行这两种制程需要曝光机进行曝光。现有的制作工艺中，阵列基板制程和彩色滤光片制程用的是两个不同的曝光机，对应的分别为阵列曝光机和彩色滤光片曝光机，两种曝光机因精度与光阻材料的不同在光源频谱方面有所差异，阵列曝光机为了保证高精度采用滤波透镜过滤掉了波长小于350nm的波段，但是彩色滤光片色阻材料...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。