技术编号：16387001
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种利用透明二维栅格板对工作台进行自校准的方法。背景技术为了适应集成电路，微机电，激光探测，航空航天等尖端技术的发展需求，精密测量的精度已发展到亚纳米级，并一直向更加微小的数量级迈进。超精密工作台在机械工件和电子器件的加工过程中起着十分重要的作用，二维坐标测量机的定位精度和运动精度直接决定了被测物体的精度，必须进行严格的校准。普通校准是通过更高精度的计量仪器与被校准物体进行比对来确定精度量级。这要求计量仪器具有非常高的精度标准，在现有的科技水平下很难达到。大部分超精密工作台的校准采用误...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。