技术编号:16428138
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及超纯水技术领域,具体为一种多级超纯水设备。背景技术超纯水是将水中的导电介质几乎完全去除,又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水,常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等,此外,其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路和真空管等的制作也都要使用超纯水。在进行超纯水处理的过程中,需将水进行多次过滤,现阶段需要进行多次循环才能实现水的多级过滤,对资源造成浪费,不能有效的加快超纯水的处理效率。发明内容(一)解决的技术问题...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。