技术编号:16459319
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于一种检测粗糙度设备技术领域,具体涉及一种基于电容法检测粗糙度的柔性探头。背景技术电容法测量金属表面粗糙度的基本原理如图1所示,如果把电容器的上极板P1作为传感测头,下极板P2作为被测金属零件表面,则传感测头与零件共同构成一对容值为C的平板电容器。两板P1和P2之间的电容C与极板之间的面积A成正比,与平行极板之间的距离t成反比。也就是说,当传感测头与被测零件表面之间的间隙t改变时,C将发生变化。对于粗糙表面,不同的粗糙度将导致接触面的间隙不同,两极板间的电容值C也不同,通过理论分析与...
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