技术编号:16477071
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于传感器制备领域,具体涉及柔性传感器的制造方法。技术背景传感器是获取自然和生产领域中信息的主要途径与手段,随着科技的不断发展,传感器的应用越来越广泛,也逐渐向微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化的方向发展。在制造柔性传感器的时候,通常为以下步骤:在硅衬底上沉积二氧化硅;在二氧化硅薄膜层上沉积传感器材料层;覆盖PI膜(聚酰亚胺薄膜);使用刻蚀剂对二氧化硅薄膜层进行刻蚀;剥落传感器。柔性传感器的传统制造方法中,在使用刻蚀剂刻蚀二氧化硅的时候,随着二氧化硅逐渐被刻蚀,二氧化硅上方的...
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