技术编号:16509474
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种发光二极管的保护膜沉积方法,更详细而言,有关于一种沉积包含通过ALD而沉积的保护膜层与通过PECVD而沉积的保护膜层的所为“混合物(hybrid)”形态的保护膜的方法。背景技术最近随着信息化时代的发达,对于显示二极管的研究逐渐活跃,特别是,发光二极管(LED:Light emitting diode)显示或有机发光二极管(OLED:Organic Light emitting diode)显示备受关注。上述有机发光二极管利用自身发散光的有机物质,具有与先前的液晶显示器(LCD:Li...
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