技术编号：16544795
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及MEMS（微机电系统）谐振式加速度传感器，具体为推拉全差动式单轴硅微谐振式加速度计。背景技术微机械谐振式加速度传感器（MMRA）是一种基于谐振器的典型的微机械惯性器件，其可以把加速度转化为频率输出，有效避免了幅值测量的误差，从而减小环境噪声带来的干扰，由于其准数字输出，可以简化接口电路，减小传输和处理的误差。当然兼备了微机械加速度计的体积小，重量轻，功耗低，成本低，易于集成和可批量生产的特点。谐振式加速度传感器可以广泛应用于航空航天、武器制导，医疗医学等领域，是一种具有广泛应用前景的高...
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