技术编号：16620717
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及连续镀膜设备领域，更具体的说，涉及一种易于疏通的真空镀膜机管道。背景技术目前CVD真空镀膜技术被越来越多的应用到各种材料上，来赋予材料新的性能，现阶段CVD真空镀膜设备的药水进出管道会经常性的堵塞，一方面是由于含有一些固体杂质，更多的是镀膜时使用的药水容易发生凝固，所以需经常拆卸管道进行清理，但经常性拆卸管道对于真空性要求较高的真空镀膜设备来说容易造成损坏，会大大影响设备的气密性，缩短使用寿命，针对这一现状需设计新的方案进行改进。实用新型内容针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的...
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