技术编号:16639753
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及石英加工,特别涉及石英砂的制备工艺和设备。背景技术石英材料,具有一系列优良的物理化学性质,在电子工业产品制造过程中,由于不对电子材料及器件发生物理化学反应或污染,因此,作为生产大规模集成电路过程中晶片或器件的托盘、输送载体材料。目前,石英材料已成为半导体电子工业生产过程中,不可替代的或缺少的重要伙伴材料,是大规模集成电路生产过程中重要的附助材料之一。石英材料是由石英原料经高温熔融而成。石英棒是一种性质非常优良的基础材料之一;石英棒材料,具有一系列优良的物理、化学性能。它耐高温、耐低温、...
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