技术编号:16647230
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及机械制造技术领域,具体是涉及一种硅片固定装置。背景技术硅片应用在各行业,应用广泛,硅片需求也越来越多,硅片固定越来越常见,传统固定为真空吸附,硅片的敏感膜片容易严重变形甚至破裂,或是争对同一种硅片进行固定。实用新型内容本实用新型的目的是针对现有技术中的不足,提供一种硅片固定装置,该硅片固定装置使用方便,结构简单,且可避免对硅片质量的影响,同时可对不同厚度的硅片进行固定。为实现上述目的,本实用新型公开了如下技术方案:一种硅片固定装置,包括工作台面,所述工作台面上设有三个夹紧机构,三个...
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