技术编号:16670871
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及激光冲击压印技术领域,具体是一种微纳尺度高温激光冲击压印装置及方法。背景技术随着微机电系统、纳机电系统、微流控芯片等的迅速发展,对器件的微型化和高精度也提出了越来越高的要求。在以金属材料为基础的微器件制造上,如何在材料表面获得微纳尺度的复杂结构是一个比较大的挑战。激光冲击压印技术利用激光烧蚀吸收层产生的高能冲击波作用于金属材料表面,金属材料在冲击波的作用下产生超塑性变形,可以进行微纳米复杂结构的快速复制。但是,在激光冲击压印的过程中,目前还存在两个问题:第一,在室温下或较高温度下(低于...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。