技术编号：16675952
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及测厚仪领域，具体涉及在线白光干涉测厚仪。背景技术目前X-射线测厚仪、贝塔-射线测厚仪用于测量透明半透明的薄膜厚度存在以下问题：第一，只能测量整体厚度，对于需要测量材料的分层厚度则无能为力；第二，通过测量薄膜的面密度，然后通过材料密度换算成薄膜的厚度。不是直接测量薄膜的厚度。一旦薄膜的密度分布不均匀的时候(添加剂分布不均匀，导致密度分布不均匀)，厚度和面密度是对应不起来的。此时通过上述两种测量方法来测量薄膜的厚度是不准确的。而台式白光干涉仪测量厚度存在以下问题：不能与生产线第三方设备实时...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。