技术编号：16704855
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，尤其涉及一种真空镀膜机的抽气机构。背景技术真空镀膜机包括一镀膜室，镀膜过程都是在镀膜室内进行。经检索，申请号为201720481036.5的专利文件公开了真空镀膜机，包括一镀膜室，镀膜室设有一进气口与一排气口，进气口连接一用于提供惰性气体的气泵，气泵连接一惰性气体储气罐，还包括一惰性气体回收系统；惰性气体回收系统，包括一气体压缩泵；镀膜室还设有一出气口，作为惰性气体回收口，惰性气体回收口连接气体压缩泵的吸气口；气体压缩泵的出气口连接惰性气体储气罐的回气口。在排气...
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