技术编号:16751232
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明构思涉及垂直存储器件。背景技术电子产品的体积已逐渐减小,而此时仍需要这样的电子产品处理数量不断增长的高容量数据。因此,这样的电子产品中所使用的半导体存储器件的集成度需要增加。因此,在半导体存储器件的集成度可被增加的方法中,已提出了垂直存储器件,在垂直存储器件中(与现有的平面晶体管结构不同)具有垂直晶体管结构的多个存储单元被堆叠。发明内容本发明构思的示例实施方式提供了其中可减少工艺缺陷的垂直存储器件。这样的工艺缺陷可发生在其中公共源极线和虚设源极线不与衬底接触的情况下。根据本发明构思的一示例...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。