技术编号:16761981
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于单晶炉技术领域,具体涉及一种多点支撑的单晶炉坩埚杆。背景技术单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。多晶材料熔化后盛装在一个坩埚中,坩埚底部设置有坩埚杆用于旋转或带动坩埚升降。由于坩埚杆周围是用于对坩埚进行加热的加热装置,因此在单晶炉工作时,坩埚杆的温度非常高,若不进行冷却,高温将影响坩埚杆的使用寿命。为了与坩埚结合更加牢固,坩埚杆的顶部通常设置为盘状(如图1所示),盘状的顶部与坩埚托盘完全贴合。高温的坩埚会...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。