技术编号：16787830
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在半导体制造装置等中，例如用于将用于使工艺腔和输送腔之间等两个腔之间选择性地连通或气密地隔断的闸阀门固定地安装在两腔之间的安装构造。背景技术例如，在半导体制造装置的基板处理装置中，如在专利文献1及专利文献2中公开的那样，通过在相互邻接的工艺腔和输送腔之间装配闸阀门，能够使这些腔之间选择性地连通或隔断。此时，上述闸阀门是将板状阀门收容于在相互相向的侧壁上分别具有闸开口的空心的阀箱内而成的闸阀门，使该阀门在阀箱内在沿着上述侧壁的方向及与该侧壁接触、分离的方向移动，对上述闸开口进行开闭，由此...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。