技术编号:16815811
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电声技术领域,更具体地,涉及一种麦克风和电子设备。背景技术MEMS(微机电系统)是一种在其最通常的形式下能够被限定成利用微制造制成的小型化机械和电子-机械元件。MEMS麦克风单元能够首先被制造然后被封装在基板上的微机电式麦克风装置中。微机电式麦克风装置还能够被装配到诸如手机、平板电脑、便携式电脑、VR等的电子设备中,其应用非常广泛。由于MEMS麦克风单元的尺寸比较小,因此制造的环境将影响具有微机电式麦克风装置的电子设备的性能。在MEMS麦克风单元中,振膜和背极板是非常重要的部件,振膜和...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。