技术编号:16816849
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种碳薄膜,尤其是涉及一种铁掺杂的非晶态碳薄膜及其制备方法。背景技术非晶态碳薄膜是一类含有sp3和sp2键的亚稳态长程无序的非晶材料,兼具金刚石和石墨的优良特性,具有高的硬度和高弹性模量、低摩擦系数、优异的耐磨性能,良好的化学惰性以及生物相容性等特点,在机械、电子、光学、生物医学、航空航天等领域具有广阔应用前景。近年来,将Au、N、Ni和ZnO等不同元素或纳米颗粒掺杂到非晶态碳薄膜中,制备具有良好电学、光学、磁学和光催化等性质的功能性碳基复合薄膜,引起研究人员的兴趣,特别是铁掺杂的非晶...
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