一种含银的氮化铬基硬质纳米结构复合膜及制备方法与流程技术资料下载

技术编号:16895109

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本发明属于复合膜领域,尤其涉及一种含银的氮化铬基硬质纳米结构复合膜及制备方法。背景技术由于刀具材料表面需在高温环境下长时间服役,具有优异力学及摩擦磨损性能的氮化铬基陶瓷薄膜也已被广泛应用。CrN薄膜的硬度高、韧性好,具有比 TiN更优的耐腐蚀性能,且铬的溅射产额比较高,CrN薄膜有利于大批量的工业生产,更具有实用价值。然而CrN薄膜在高温下的抗氧化能较差,在切削加工过程中产生的高温往往使氮化铬涂层容易产生氧化相失效。因此,现亟需一种新型的、不仅抗氧化性能强,且强度高、摩擦磨损性能强的复合薄膜。基...
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