技术编号:16906888
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体装备技术领域,更为具体地,涉及一种光刻机平面电机动子悬浮高度测量系统的电涡流切换算法。背景技术平面电机直接利用电磁能产生二维平面运动,具有高精度、出力密度高、反应快等特点,因而在半导体、液晶屏幕等二维加工领域中有着重要的应用前景。与其它平面电机相比,磁悬浮平面电机更易于控制,定子表面加工要求也较低,因此逐渐受到人们的关注。在磁悬浮平面电机中,为了实现动子的悬浮和运动,需要对动子的线圈通电,因而会有较多的热量产生。为了更好地散热,通常在磁钢阵列的表面加工一些散热孔。然而由于测量动子...
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