技术编号：16970139
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种除焦装置，具体涉及一种用于气相沉积炉尾气处理的自清洗式除焦装置。背景技术化学气相沉积炉是利用化学气相沉积的原理，将参与化学反应的物质，加热到一定工艺温度，在真空泵抽气系统产生的引力作用下，引至沉积室进行反应、沉积，生成新的固态物质。气相沉积炉主要由炉本体（含炉底、下炉体、上炉体及隔热屏）、加热器、过滤系统、真空系统等组成。气相沉积炉排气系统随着尾气在排气系统中流动，其温度逐渐降低；随着尾气的温度降低，除了尾气中难以液化的分子量很小的部分烃类以气体形式排出外，其余分子量较大的烃类...
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