技术编号：16980493
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学检测技术领域，具体地指一种膜上膜内缺陷的判定方法。背景技术自动光学检查机在面板(TFT/AMOLED)制程中担任重要拦检功能，但因面板尺寸愈来愈大，检测分辨率愈来愈高，相对缺陷数量也愈来愈多。而实际上，不是每一种缺陷都会影响下一工序的进行，如果对所有检测出来的缺陷进行处理，无疑会大幅度增加检测工序的工时，降低了面板检测工作的效率。例如，在柔性板PI及LLO制程拦检，只须检测膜上或膜内缺陷，然后用根据这些缺陷进行调整即可，比如某一工序仅膜内缺陷会对其造成影响，而膜上缺陷不会对其造成影...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。