技术编号:16990158
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及镀膜技术领域,具体为涉及一种半干法处理塑胶直接电镀真空镀膜系统。背景技术现有技术镀膜所使用的柱靶功率低,冷却效果差,膜层沉积效率低,Cu溅射大颗粒明显,产线生产节拍太长导致生产效率低;需要解决的问题:采用大功率溅射电源,增加柱靶体积及冷却量,将Cu靶更换为合金靶,降低大颗粒影响,提升膜层沉积效率,将生产节拍从45min下降为8min。。发明内容为了解决上述技术问题,本发明的目的在于提供一种半干法处理塑胶直接电镀真空镀膜系统。本发明通过以下技术方案来实现:该半干法处理塑胶直接电镀真空镀膜...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。