技术编号:17041337
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。实施例涉及双膜MEMS器件和用于双膜MEMS器件的制造方法,诸如MEMS压力转换器,声学MEMS传感器或以MEMS麦克风或MEMS扬声器为形式的MEMS声音转换器。实施例尤其涉及以具有在两个间隔的膜结构之间的介电的、柱状的、机械的连接元件的双膜MEMS麦克风为形式的声学MEMS传感器。背景技术声学MEMS传感器,例如MEMS麦克风,以功能为条件地暴露于环境大气,并且因此经常暴露于污染物,例如颗粒,液体,湿气等。为了防止这些污染物引起声学MEMS传感器的故障或性能降低,这些声学MEMS传感器在应用...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。