技术编号：17061355
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种超纯氦纯化装置。背景技术电子级超纯氦在半导体制造中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气。广泛应用于半导体集成电路IC、液晶显示器LCD、半导体发光器件LED以及太阳能电池PV等行业。近年来，随着全球石油等能源资源逐渐减少和环境污染，温室效应对气候的影响，世界各国大力发展清洁能源以及节能技术，重点关注低碳经济。在此背景之下，我国的太阳能电池和半导体发光器件及相关产业得到了迅猛发展，电子级超纯氦市场非常广阔。5N氦气指的是纯度为99.999%的氦气，6N氦气指的是纯度为99.99...
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