技术编号:17082318
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种碳/碳复合材料PECVD承载框的制备方法。背景技术随着可持续发展观念在世界各国不断深入人心,许多国家将太阳能列为重点发展的新兴产业。太阳能电池组件系统也受到了越来越的重视。单晶/多晶硅电池生产工艺中需要在硅片表面镀膜,这是因为光照射在硅片表面时,反射会使光损失约三分之一。如果在硅表面有一层合适的薄膜,利用薄膜干涉原理,可以使光的反射大为减少,这种膜成为太阳能电池的减反射膜(ARC,antireflection coating)。目前应用较多的氮化硅薄膜一般采用等离子增强化学气相沉积...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。