技术编号：17115423
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种半导体晶片检测技术领域，具体的，是一种AOI光学检测反光镜表面刷式清洁装置。背景技术AOI与人判断原理相同。AOI通过人工光源LED灯光代替自然光，光学透镜和CCD代替人眼，把从光源反射回来的量与已经编好程的标准进行比较、分析和判断。半导体晶片产品进入机台后有AOI(自动光学检测)检测外观与尺寸，若是破片掉落在反光镜上会造成误判从而设备报警停机，操作人员手工清除反光镜上的破片和杂质后再重新启动设备，造成停机耽误时间的同时，增加了操作人员的工作强度，设备的急停，也会造成对设备传动...
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