技术编号:17219342
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种含氟活性酯及其制备方法、包含其的树脂固化物,属于高分子材料领域。背景技术在近年来,随着集成电路互连介质中的传输信号高速化,信号的高频率化在推进。随着集成电路特征尺寸进入深亚微米,互连RC延迟已成为影响电路速度的重要因素,这就要求集成电路互连介质具有低介电常数和低介质损耗角正切来满足信号高频传输的需要,而且还需要具有良好的绝缘性、耐热性和粘结性,基于以上要求,通常是用热固性树脂固化物的固化物,还可优选含有环氧系化合物的环氧系树脂固化物。但由于环氧树脂本身的树脂结构具有大量羟基,以及通...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。