技术编号:17292869
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及树脂组合物。更详细而言,涉及适合用于半导体元件等的表面保护膜、层间绝缘膜、有机电致发光元件的绝缘层等的树脂组合物。背景技术以往,在半导体元件的表面保护膜、层间绝缘膜、有机电解元件的绝缘层、薄膜晶体管(以下,记为TFT)基板的平坦化膜中,广泛使用了包含耐热性、电绝缘性、机械特性等优异的聚酰亚胺树脂、聚苯并噁唑树脂或聚酰胺酰亚胺树脂的树脂组合物。在上述用途中,通常利用旋涂或狭缝涂布将树脂组合物形成树脂膜。因此,一直以来,各种溶剂被用于树脂组合物中,根据溶解性、涂布性、保存稳定性、显影性等来...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。