技术编号:17304641
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型实施例涉及激光测距技术领域,尤其涉及一种微镜扫描光学系统和激光雷达。背景技术随着半导体技术、信息技术以及光通信技术的快速发展,微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)发展的又一重要方向是与光学相结合,称为微光机电系统(Micro-Opto-Electro-Mechanical System,MOEMS)。MOEMS 是利用微加工技术实现的微光机电器件与系统,系统中的为光学元件(如透镜、反射镜或光栅等)在微电子或微机械装置的作用下能够对光束进...
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