一种基于图像融合来执行三维表面形貌测量的方法与流程技术资料下载

技术编号:17322991

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本发明属于三维表面形貌测量相关技术领域,更具体地,涉及一种基于图像融合来执行三维表面形貌测量的方法。背景技术近年来,具有功能性表面的产品在摩擦学、热传导、流体动力学、光学、太阳能、医学植入、仿生学、仿生电子学和微电子学等科学研究和工程应用中引起了广泛的关注。这些功能表面包括一系列工程产品中的的微纳米结构。这些高动态范围(HDR)表面几何特征的测量对先进测量设备提出了一系列测量要求。更具体而言,这些测量要求之一首先在于需要具备高分辨率的横向测量能力。传统的机械式探针和3D远场光学测量系统分别由其尖...
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